Современная конструкция электронной колонны;
Улучшенная работа при низких ускоряющих напряжениях. Разрешение 7 нм при 3 кВ;
Упрощенная процедура замены катода и встроенный в ПО мастер юстировки электронной колонны;
Оптическая навигационная камера в базовой комплектации;
Система безопасного перемещения столика, встроенная система коллизий;
Режим компенсации астигматизма с применением искусственного интеллекта. Уникальный режим вспомогательной настройки стигматоров;
Режим низкого вакуума (опция). Для работы с непроводящими образцами без дополнительной пробоподготовки;
Множество дополнительных опций для расширения возможностей.
| Разрешение | 3 нм — 30 кВ (SE) | 7 нм — 3 кВ (SE) | 4 нм — 30 кВ (BSE) |
| Увеличение | 12x — 300000x |
| Тип катода | Термоэмиссионный вольфрамовый катод |
| Ускоряющее напряжение | 200 В — 30 кВ |
| Вакуумная система | турбомолекулярный насос, роторный насос |
| Детекторы | SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE |
| Столик | с 3 степенями свободы |
| Диапазон перемещений столика | X,Y: 125 мм | Z: 50 мм |
| Максимальный диаметр образца | 270 мм |
| Дополнительные опции | EDS, CL, EBL, шлюз, столик с нагревом и охлаждением, столик для физико-механических испытаний и др. |
