| Разрешение | 3 нм — 30 кВ (SE) | 7 нм — 3 кВ (SE) | 4 нм — 30 кВ (BSE) |
| Увеличение | 12x — 300000x |
| Тип катода | Термоэмиссионный вольфрамовый катод |
| Ускоряющее напряжение | 200 В — 30 кВ |
| Вакуумная система | турбомолекулярный насос, роторный насос |
| Детекторы | SE, полупроводниковый четырехсекционный BSE |
| Столик | с пятью степенями свободы |
| Диапазон перемещений столика | X,Y: 125 мм | Z: 50 мм | R: 360° | T: -10° — 90° |
| Максимальный диаметр образца | 270 мм |
| Дополнительные опции | EDS, CL, EBL, шлюз, столик с нагревом и охлаждением, столик для физико-механических испытаний и др. |
